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| 本發明提供一種探針裝置及檢查裝置,使薄膜探針的各觸頭與被檢查體的電極確實地接觸。該探針裝置包括:固定于主體框架側的探針基座,支承薄膜探針并使其與被檢查體的電極進行電接觸的探針塊,在上述薄膜探針的各觸頭與被檢查體的電極接觸的狀態下、以均勻的壓力對該薄膜探針進行加壓的加壓機構;上述加壓機構包括頂端加壓部,該頂端加壓部直接與上述薄膜探針接觸,在該薄膜探針的各觸頭與上述被檢查體電極接觸的狀態下,對該薄膜探針進行加壓;上述頂端加壓部由對上述薄膜探針進行加壓的加壓板、使利用該加壓板施加的壓力變均勻的彈性體、設置于上述薄膜探針的上述觸頭一側且與上述彈性體互相結合使施加到上述各觸頭上的壓力變均勻的支承薄膜構成。 |
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探針裝置及檢查裝置
一種探針裝置,其特征在于, 該探針裝置包括:固定于主體框架一側的探針基座,支承薄膜探針并使其與被檢查體的電極進行電接觸的探針塊,在上述薄膜探針的各觸頭與被檢查體的電極接觸的狀態下、以均勻的壓力對該薄膜探針加壓的加壓機構; 上述加壓機構具有頂端加壓部,該頂端加壓部直接與上述薄膜探針接觸,在該薄膜探針的各觸頭與上述被檢查體的電極相接觸的狀態下,對該薄膜探針進行加壓; 上述頂端加壓部由對上述薄膜探針進行加壓的加壓板、使利用該加壓板施加的壓力變均勻的彈性體、設于上述薄膜探針的上述觸頭一側且與上述彈性體互相結合使施加到上述各觸頭上的壓力均勻的支承薄膜構成。
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| 專利號: |
200810093555 |
| 申請日: |
2008年4月24日 |
| 公開/公告日: |
2008年10月29日 |
| 授權公告日: |
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| 申請人/專利權人: |
日本麥可羅尼克斯股份有限公司 |
| 國家/省市: |
日本(JP) |
| 郵編: |
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| 發明/設計人: |
安田貴生、久我智昭 |
| 代理人: |
劉新宇 張會華 |
| 專利代理機構: |
(11277) |
| 專利代理機構地址: |
() |
| 專利類型: |
發明 |
| 公開號: |
101294984 |
| 公告日: |
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| 授權日: |
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| 公告號: |
000000000 |
| 優先權: |
日本2007年4月27日2007-118128 |
| 審批歷史: |
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| 附圖數: |
12 |
| 頁數: |
11 |
| 權利要求項數: |
2 |
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