一、核心功能與測試原理
1.1 核心測試能力
四探針法(專用治具):通過四個獨立探針(間距可設),無損測量片狀/塊狀半導體材料、金屬涂層、導電薄膜、導電玻璃的電阻(R)、方塊電阻(Rsq)、電阻率(ρ)及電導率(σ),有效消除接觸電阻和測試線電阻干擾,適合評估材料本征電學性能。
開爾文法(四端測試夾):用專用開爾文測試夾直接測量電阻器、引線、連接器、繼電器觸點等分立元件的直流電阻(R),滿足精密電阻、保險絲、電機繞組等高精度產品測試需求。
1.2 核心工作原理與技術創新
四探針原理:外側兩探針施加恒定電流(I),測量內側兩探針間電位差(V),結合幾何修正因子(探針間距、樣品厚度/尺寸)計算電阻率或方塊電阻,避免電流與電壓測量點共用誤差。
雙電測與OVC補償:一次測量中執行兩次子測量:施加電流測總電壓(V1=V_被測電阻+V_熱電勢),不施加電流測熱電勢(V2=V_熱電勢),通過(V1-V2)自動消除金屬接觸熱電勢及儀器偏置電壓,是毫歐級以下電阻測量精度的關鍵(顯示“OVC”標識)。
溫度補償與換算:支持溫度探頭接口,可將電阻值換算至基準溫度(如20°C),消除環境溫度波動影響;支持基于初始電阻和溫度計算溫升(符合JIS C4034-1標準,如銅k值235)。
二、技術規格深度解析
2.1 測量性能
超寬范圍:覆蓋0.1 µΩ ~ 200 MΩ(四探針法)及0.1 µΩ ~ 200 Ω(開爾文法)。
精度與分辨率:小分辨率0.1 µΩ,整機相對誤差≤±1%,標準不確定度≤±1%。
測試速度:小周期2.2毫秒,支持多檔位(中速/慢速1/慢速2),高5次/秒,滿足在線高速分選。
測試電流:1 µA ~ 1 A可調,支持“大電流(High)”或“小電流(Low)”模式,避免材料過熱損壞。
2.2 智能化操作與顯示
界面與顯示:采用3.5英寸/4.3英寸高分辨率TFT彩色觸摸屏,可同時顯示電阻、方塊電阻、電阻率、溫度、分選結果等參數。
智能功能:支持10組自定義測試面板存儲、全量程自動調零、自動電流換向、自動量程切換、自動厚度修正。
2.3 分選與外部控制
分選功能:內置智能比較器,支持HI/IN/LO三檔分選,可擴展至10檔(BIN0-BIN9),自動判斷合格與否并提示。
通信接口:標配RS232/485、LAN、USB、Handler I/O接口,支持SCPI指令遠程控制,集成自動化產線(ATE)與MES系統。
2.4 配置
標準配置:主機、開爾文測試線、測溫探頭、直排/矩形四探針、說明書等。
可選配件:專用測試臺、定制探針夾具、高精度測厚儀聯用方案、上位機數據分析軟件。
三、適用行業與典型應用場景
3.1 半導體與集成電路
晶圓與薄膜:測量硅片、砷化鎵襯底電阻率;監控金屬濺射層(Al、Cu)、ITO薄膜方塊電阻,把控鍍膜工藝均勻性。
封裝與互連:檢測鍵合線、引線框架、封裝基板導電性,確保芯片電連接可靠性。
3.2 新能源與電力電子
太陽能光伏:測量電池金屬柵線電阻、背電極電阻、透明導電層方塊電阻,影響填充因子與轉換效率。
鋰離子電池:評估集流體(銅箔/鋁箔)電阻、導電涂層附著力與電阻,優化電池內阻與倍率性能。
電力傳輸:檢測接觸器觸點、斷路器觸頭、母線排連接電阻,預防過熱故障。
3.3 新材料研發
納米與二維材料:表征石墨烯、碳納米管薄膜、MXene的方塊電阻與電導率,為器件應用提供數據。
功能涂層:測試電磁屏蔽、抗靜電、發熱體用金屬涂層、導電高分子涂層、陶瓷金屬復合涂層的電阻特性。
3.4 精密元器件與航空航天
元器件:高速測量片式電阻、繼電器觸點電阻,實現精密分檔;檢測應變片、熱敏電阻初值電阻。
航空航天:測試飛機雷擊防護/隱身涂層的表面電阻與屏蔽效能;無損評估焊接/壓接工藝的連接電阻質量。
四、標準化操作與維護
4.1 安全操作
環境:0-40°C,濕度≤80%RH,避免陽光直射、粉塵、強電磁場;電源可靠接地,使用標配測試線。
4.2 測試流程
準備:開機預熱,連接四探針/開爾文夾,設置探針參數(間距)或樣品參數(厚度)。
參數設置:選擇量程(自動/手動)、測試速度、溫度補償、OVC功能、比較器上下限。
短路調零:短路測試夾/探針,按下[0.ADJ]鍵消除系統殘余誤差。
測量:放置樣品,按[START/TRG]鍵觸發,儀器自動完成電流換向、計算與分選判定。
數據記錄:屏幕讀取或通過接口上傳至上位機;結束后取下樣品,關閉電源。
4.3 維護與校準
日常維護:保持設備清潔干燥,避免測試線過度彎折;長期不用定期通電,水冷后排空管路積水。
校準:支持自校準(偏置與增益),建議每年送計量機構檢定,全國范圍一次過檢,精度保證期一年。
材料超低電阻及電阻率測試儀
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- 發布時間:[2026-01-21 15:39]
- 產地:北京>北京市>石景山區
- 公司名稱:北京北廣精儀儀器設備有限公司高壓漏電起痕試驗儀
- 聯系人:王春婷
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